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硅片自动排片机
系列全自动清洗甩干机

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系列全自动清洗甩干机

概述
  QX系列全自动清洗甩干机,是根据国际光伏、半导体产业发展的市场需求而研发的。该设备具有旋转高洁净清洗、烘干功能。主要用于硅片等类似材料的清洗烘干,是光伏、半导体清洗工艺中必不可少的设备之一。

技术规格

              型 号
QX--4
QX--6
             工作腔工位
4工位
6工位
             硅片尺寸  
125mm~156mm
             转  速
                    50~900 r/min无级可调 50-900r/min  
控制系统、显示器
PLC可编程控制器、7英寸彩色液晶触摸屏
电源电压
AC380V 三相四线制
总功率
3.5KW
3.5KW
外形尺寸(长×宽×高)
1100×1100×1000
1100×1100×1000


结构特点
  1.外壳均采用不锈钢材料制作,表面静电喷涂处理。外观简洁、流畅。
  2.工作腔内旋转支架及硅片盒夹具均采用耐腐蚀、经特殊亚光处理的不锈钢材料。
  3.工作过程中工作腔与外界密封隔离,旋转机构通过精密的动、静平衡校验,保证工作时的平衡性。
  4.全自动切换喷头和气液流体控制系统。
  5.自动开、关门采用气缸结构,使其平稳、安全可靠
  6.接头及喷头采用304不锈钢制作,管路及阀门采用高纯管件。
  7.采用国内知名品牌的减震器,使系统具有良好的减震效果。
  8.箱盖内采用硅橡胶加热板加热系统,保证箱盖内干燥不漏水。
  9.驱动电机采用国内知名品牌,采用电子变频调速技术使其加速平稳。
  10.采用电子制动控制技术制动迅速,平均制动时间小于15秒。

控制系统
   1.采用PLC可编程控制器,7英寸彩色液晶触摸屏,人机对话界面。
   2.每个程序指令客户都可在触摸屏上任意设定、修改和保存。速度、温度、时间任意调节,程序设计可靠。
   3.运行过程中所有信息均显示在触摸屏上,使工作人员对工艺步骤、运行状态一目了然。

安全装置

   1.设备具有漏电保护。
   2.旋转机构需在关门良好的情况下才能正常运行。
   3.关门系统在同时按下两个关门“CLOSE”按钮时才能正常关闭。
   4.本机必须正确接地,确保安全。
   5.定期检查电路及控制仪表的各种保护设置功能是否正常。

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